次点头:“然后呢?”
“我们这次取得的突破,是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬!
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂,他也知道,实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统,是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘,谬之千里”。
而且苏远山还知道,ASML的初代双工件台,其实效率并不十分高,只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟,还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样,才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了,还有什么麻烦?
“那麻烦在哪?”
“麻烦在于,我们目前只能实现微米的精度。”曲慧紧缩着眉,凝望着苏远山道:“而且,精度越高,摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心,它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧,目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴,也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上,那它的意义就少了许多。”
“还有一点,我们目前的工业基础,只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍,终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后,苏远山微笑着摇头:“曲慧姐,其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人,而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边,但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助,就算要机床,他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以,双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术,但实际上,却是一个由原首都精密仪器研究所,远芯,志远,清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上,这个团队就已经堪称豪华了。
要知道,搞机械,特别是精密机械,它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到,没有做不到”,但机械设计还真是,你能想到,但基本上办不到。
双工件台的构思说白了,就如曲慧所说的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单,毕竟这是两个工件台的协同配合,而且要保持高速运动下的微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上,其中一架飞机伸出一根杆子,在对面的机身上刻微米大小的字。
至于为
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