。我让他摸索一下铜互连技术。”苏远山说着自嘲地一笑:“我们想得太远,走的太快,现在能帮得上忙的人很少。”
这里的铜互连技术,自然指的是把集成电路互连层,用铜金属材料取代现有的铝金属互连材料的一种工艺,相比较铝,铜良好的电阻和耐温性。是未来提高频率的核心制程技术。
台积电便是在微米制程下抢先开发出铜互连,一举超越了联电。
现在苏远山提出概念早了将近五年。
苏远山当然不可能掌握铜互连工艺,但他知道方向。
由于铜在二氧化硅中扩散系数很大,同时粘附性也很弱,因此在铜互连导线外面必须要有一层阻挡层来阻挡其扩散。而为了更好地镀铜,还需要先在制程电路上生成一层薄薄的Cu籽晶层……
而生成Cu籽晶层的方法,又有物理气相沉淀和化学气相沉淀以及原子层淀积之分。
当生成铜籽晶层后,便可进行电镀,最后抛光完成互联。
而目前,陈建国便在恶补相关知识,同时全国乱窜,到处拜访相关领域的专家。
作为师弟和课题提出者,苏远山只能从金钱上支持他……
……
父子俩在办公楼下分开,苏星河很忙,他要做16位单片机的最后技术总结,还要帮儿子赚钱。
而苏远山也忙,要忙着做实验。
如今远芯的各个实验室已经被安排得满满的。
因为除了科技园这边要做实验之外,电科,省大和理工等学校也纷纷提出各种实验申请。
这些学校当然都有实验室,但无论从设备的先进程度还是齐备程度,才刚刚建立的远芯科技园都有着无与伦比的优势。
以至于……现在的情况是,就算苏远山来物理实验室,也得等安排。
进入实验室,他看到霍尔效应实验仪前有个熟悉的人。
“曲慧姐?”苏远山轻声唤了一声。
曲慧依旧一头短发,正在和一个技术员分析数据,闻言回头冲苏远山一笑:“听说你也要做霍尔效应试验?”
“嗯,不过没事,我是玩票,你们忙。”苏远山笑道,想了想又问道:“你们做这个试验是……干啥?”
“哦,想分析一下霍尔感应器的干扰问题。”曲慧抿着嘴走向苏远山:“伺服电机小组那边做的,我过来看一看。”
“噢!那我等会。”苏远山顿了顿,笑道:“霍尔效应试验仪很便宜,下次多搞几台。”
这时马上有人接到:“山总,多搞几台原子力显微镜。”
又是一个声音接到:“还有扫描电镜。”
“……”
远芯科技园主要有两个比较大型的物理实验室,其中一个光学实验室,一个就是他这边主要偏凝聚态物理研究的实验室。
现在这些家伙倒是把他的凝聚态实验室变成了个常规实验室,各种基础试验做得飞起。
苏远山也是有点醉。
见众人大有准备开清单的架势,苏远山赶紧和曲慧道了声别。
就在他要退出实验室时,叶如黛的小脑袋瓜也刚好伸进门口。
“叶子?”
“小山哥。”叶如黛惊了一下,立刻开心道:“真巧。”
“嗯啊。”苏远山呵呵一笑,站到叶如黛身旁:“你来做实验?”
“不是,我来问数据。”叶如黛眼波流转,指了指最里面:“看看试验结果和模拟功能是否对的上。”
苏远山含笑点头:“那你过去,我等你,然后一起去上面看看。”
“好嘞。”叶如黛干脆地应道,快步走向最里边。
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